INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS produktų serijų dalijimasis
VIGOR teikia pažangias integruotas dujų sistemas (IGS), sukurtas specialiai didelio{0}}grynumo dujų kontrolei puslaidininkių gamybos pramonėje. Mūsų sprendimai sujungia novatorišką inžineriją su griežtais gamybos standartais, kad užtikrintų patikimumą, kompaktiškumą ir puikų našumą svarbiose srityse.
Produkto savybės
- Naudojamas dujų kontrolei puslaidininkių pramonėje
- Modulinis dizainas
- Visi komponentai montuojami ant paviršiaus pagal SEMl standartą
- Dydis yra maždaug 1/3 tradicinės plokštės
- SEMl standartinė medžiaga, elektropoliravimo procesas ir orbitinis suvirinimas
- „Wseal“ ir „C{0}}seal“ neprivalomi
- Dvigubas maišelis švarioje patalpoje
- Visi gaminiai, išskyrus „laikiklius“, gaminami pagal VS001A proceso specifikaciją
IGS slėgio reguliatoriai VIR serija
1. Maks. Darbinis slėgis: 150 psig
2. Maks. Darbinė temperatūra: -40 laipsnių F ~ 140 laipsnių F (-40 laipsnių ~ 60 laipsnių)
3. Išėjimo slėgis: 0 ~ 100 psig
4. Paviršiaus apdaila: maks.. 5uin. Ra
5. Medžiaga: 316L VIM-VAR
6. Vožtuvo lizdas: PCTFE (PFA/Vespel neprivaloma)
7. Srauto talpa: Cv=0.08
IGS diafragminiai vožtuvai VID serija
1. Maks. Darbinis slėgis: 150 psig
2. Maks. Darbinė temperatūra: PCTFE 14 laipsnių F ~ 176 laipsnių F (-10 laipsnių ~ 80 laipsnių); PFA 14 laipsnių F ~ 302 laipsnių F (-10 laipsnių ~ 150 laipsnių)
3. Nėra aklavietės dizaino
4. Šlapias paviršius apdorojamas EP, Max. 5uin. Ra.
5. Medžiaga: 316L VIM-VAR
Ištirtas 6. 100% helio-nuotėkis-
7. Srauto talpa: Cv=0.1
IGS srauto valdymo vožtuvai VIM serija
1. Maks. Darbinis slėgis: 150 psig
2. Maks. Darbinė temperatūra: 14 laipsnių F ~ 302 laipsnių F (-10 laipsnių ~ 150 laipsnių)
3. Sandarinimas: FKM
4. Šlapias paviršius apdorojamas EP, Max. 5uin. Ra
5. Srauto talpa: Cv=0.03
IGS atbuliniai vožtuvai VICV serija
1. Maks. Darbinis slėgis: 150 psig
2. Maks. Darbo temperatūra: 14 laipsnių F ~ 176 laipsnių F (-10 laipsnių ~ 80 laipsnių)
3. Paviršiaus apdaila: maks.. 5uin. Ra
4. Įtrūkimo slėgis: 0,33 psig
5. Srauto talpa: Cv=0.2
VlB serijos substratai (C-antspaudas)
1. C-antspaudas
2. Ne-fiksuotas įrengimas, užtikrinantis sandarinimo efektą
3. Drėgna dalis apdorojama EP
4. Paviršiaus apdaila: Max. 5uin.Ra
5. Medžiaga: 316L VIM-VAR
Pagrindinė produktų serija
- IGS slėgio reguliatoriai (VIR serija)
- IGS diafragminiai vožtuvai (VID serija)
- IGS srauto valdymo vožtuvai (VIM serija)
- IGS atbuliniai vožtuvai (VICV serija)
- IGS substratai ir laikikliai (VIB serija)
- Tarpinės (VIG serija)
Kodėl verta rinktis VIGOR IGS?
Mūsų sistemos yra tikslios inžinerijos ir praktinio dizaino sinergija, užtikrinanti:
- Erdvės efektyvumas: smarkiai sumažintas skydelio dydis.
- Itin{0}}Aukštas grynumas: medžiagos ir procesai, pritaikyti puslaidininkių{1}}klasėms.
- Modulinis lankstumas: lengva konfigūruoti, išplėsti ir prižiūrėti.
- Įrodytas patikimumas: griežti bandymai ir SEMI{0}}standarto laikymasis.
VIGOUR siūlome ne tik komponentus,{0}}mes teikiame integruotus sprendimus, kurie užtikrintai ir tiksliai įgyvendins jūsų idėjas.
