Pramonės įžvalga|Kiek svarbus yra dujų grynumas puslaidininkių gamyboje?

Puslaidininkių gamyboje vyrauja nusistovėjęs -konsensusas: viršutinę lusto veikimo ribą apibrėžia konstrukcija, o apatinė gamybos išeigos riba priklauso nuo medžiagos grynumo.

Vaizdas paimtas iš interneto.

Nuo plokštelių valymo ir plonos -plėvelės nusodinimo iki ėsdinimo ir legiravimo – vienos 12- colių plokštelės gamybos procesas apima daugiau nei 30 rūšių technologinių dujų, įskaitant silaną, amoniaką, azoto trifluoridą, volframo heksafluoridą, vandenilio chloridą ir kt. Visos dujos turi būti tiekiamos į reakcijos kamerą itin grynos.

Priemaišų pėdsakai ppb lygiu (drėgmė, deguonis, kietosios dalelės), patenkančios į dujų vamzdyną, gali sukelti plonos -plėvelės defektus ir paviršių užteršimą, o tai tiesiogiai sumažina gamybos išeigą. Atsižvelgiant į 3 nm procesą kaip pavyzdį, kiekvienas atskiras lustas yra vertas šimtų JAV dolerių; pakanka vos 1% pajamingumo svyravimo, kad būtų panaikintas dešimtimis milijonų vertinamas pelnas.

Puslaidininkių pramonėje „didelio grynumo“ sąvoka nėra tolygu „paruošta{0}} apdoroti“. Tikrasis iššūkis yra grynumo išlaikymas - išlaikant dujas be užteršimo- per visą tiekimo kelią nuo dujų šaltinio iki naudojimo vietos (POU).

Trys pagrindinės apsaugos priemonės veikia kartu, kad tai būtų pasiekta:

(1) Medžiagos pasirinkimas: Vamzdžiai ir vožtuvų korpusai yra pagaminti iš VIM+VAR dvigubai perlydyto 316L nerūdijančio plieno, kad būtų sumažintas elementų išsiskyrimas iš pagrindinių medžiagų.

(2) Paviršiaus apdaila: Vidinis paviršiaus šiurkštumas Ra Mažesnis arba lygus 0,25 μm (10 μin.) naudojant elektropoliravimo (EP) apdorojimą, siekiant sumažinti kietųjų dalelių sukibimą ir drėgmės adsorbciją.

(3) Hermetiško sandarinimo vientisumas: Helio nuotėkio greitis Mažesnis arba lygus 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sek, kad būtų visiškai užblokuotas išorinės taršos patekimas.

VIGOR VUPS Ultra-High Purity produktų linija apima visą dujų tiekimo grandinę, atitinkančią SEMI standartus, įskaitant VCR metalines fasado{1}}sandarinimo detales, didelio{2}}grynumo diafragminius vožtuvus ir dviejų{3}}pakopų slėgio reguliatorius.

Visi gaminiai yra surenkami, išbandomi ir prieš išsiunčiant supakuoti į 100 klasės švarias patalpas su dvigubu-vakuuminiu maišeliu-. Klientai gauna ne tik atskirus vožtuvus, bet ir visą plug{4}}and-play itin-aukšto grynumo užtikrinimo sistemą.

VIGOR produktai patikimai veikė specialiose dujų tiekimo sistemose ir CVD/PVD dujų tiekimo vamzdynuose daugelyje plokštelių gamyklų, suderinamų su svarbiomis proceso dujomis, tokiomis kaip silanas, azoto trifluoridas ir boro trichloridas.

Puslaidininkių gamyba yra nesibaigiančios lenktynės su teršalais -, o VIGOUR misija yra užtikrinti kuo švaresnę šių lenktynių starto liniją.