VIGOR Product Express|Srauto jungiklis VEFS2 serija

Dirbtinio intelekto, didelio{0}}našumo skaičiavimo (HPC), automobilių elektronikos ir daiktų interneto taikomųjų programų skatinama puslaidininkių pramonė sparčiai keičiasi. Tačiau šis nepaprastas augimas taip pat sukėlė naujų veiklos iššūkių. Kadangi gamybos mastai neregėtu greičiu plečiasi, didelės rizikos specialios dujos, tokios kaip silanas ir fosfinas, plačiai naudojamos puslaidininkių gaminiuose. Bet koks nekontroliuojamas dujų nuotėkis, atsiradęs dėl dujotiekio plyšimo, laisvų jungiamųjų detalių, sandariklio gedimo ar netinkamo įrengimo, gali greitai peraugti į rimtą saugos incidentą, kelti pavojų personalo saugai, sugadinti svarbią gamybos įrangą ir sukelti brangių neplanuotų prastovų. Atsižvelgiant į tai, VIGOUR perteklinio srauto jungiklis (EFS), pasižymintis grynai mechanine paleidimo konstrukcija ir išskirtiniu itin -aukšto-grynumo (UHP) suderinamumu, tapo nepakeičiama specialių dujų tiekimo sistemų, įskaitant dujų spinteles ir VMB, puslaidininkių gamybos linijose visame pasaulyje, saugos priemone.

Pagrindinis VIGOR EFS projektavimo principas yra aptikti neįprastas srauto sąlygas ir patikimai reaguoti. Kai dėl tolesnio dujotiekio gedimo atsiranda staigus ir per didelis srauto padidėjimas, viršijantis iš anksto -nustatytą kritinį išjungimo tašką, įrenginys nedelsdamas suaktyvina atsako signalą. Šis signalas perduodamas atidarant arba uždarant elektrinius kontaktus įmontuotame-nendriniame jungiklyje, kuris vėliau sinchronizuojamas ir siunčiamas į SCADA sistemą arba dujų stebėjimo sistemą (GMS). Teikdama -įspėjimus realiuoju laiku ir įgalindama greitus automatinius atsakymus, ji palaiko aktyvų saugos valdymą, efektyviai sumažina galimus pavojus ir sustiprina bendrą dujų tiekimo tinklo patikimumą.

Puslaidininkių gamybos procesuose kiekvienas dujų sistemos komponentas gali tapti potencialiu taršos šaltiniu. Net mažos dalelės, metalinės priemaišos ar paviršiaus adsorbcija gali pakenkti plokštelių kokybei ir sumažinti gamybos išeigą. Todėl VIGOR griežtai laikosi griežtų puslaidininkių pramonės standartų, kad užtikrintų medžiagų grynumą, paviršiaus švarumą ir veikimo stabilumą.

Kalbant apie medžiagų standartus, VIGOR naudoja tik 316 l nerūdijantį plieną, pagamintą naudojant VIM/VAR dvigubo lydymosi technologiją. Šis pažangus metalurginis procesas žymiai sumažina metalų intarpus ir likutines priemaišas, užtikrina puikų atsparumą korozijai ir sumažina dujų užteršimo riziką. Paviršiaus apdorojimui visi gaminiai yra pažangiuoju elektropoliravimu (EP), išlaikant vidinį paviršiaus šiurkštumą 5–10 μin. Toks sklandus, švarus vidus neleidžia dujų molekulėms adsorbuotis ant vidinių sienelių ir pašalina dalelių nuosėdas, todėl užtikrinamas stabilus ir neužterštos -dujų tiekimas.

Be to, VIGOR EFS siūlo platų kritinių išjungimo taškų pasirinkimą ir lanksčias konfigūravimo parinktis, tinkančias įvairiems naudojimo scenarijams. Naudodami paprastą parametrų derinimą, vartotojai gali lengvai nustatyti tikslų modelį pagal konkrečius dujų tipus, darbinio slėgio sąlygas ir didžiausius leistinus srautus. Šis aukštas pritaikymo laipsnis užtikrina tikslią ir patikimą per-apsaugą nuo srauto, skirtą įvairiems itin-aukšto-grynumo dujų pritaikymams šiuolaikinėje puslaidininkių gamyboje.

  Srauto jungiklis didelio srauto reikmėms

 Galima su horizontalia arba vertikalia pagrindine linija

 Minimalus slėgio kritimas per prietaisą

 SS 316L nerūdijantis plienas